受全球氦氣供應(yīng)鏈緊張及地緣政治因素影響，工業(yè)級(jí)氦氣價(jià)格年內(nèi)飆升320%，直接推高半導(dǎo)體、航天等領(lǐng)域檢測(cè)成本。為破解困局，國(guó)內(nèi)氦檢漏設(shè)備頭部企業(yè)近日集中發(fā)布“零氦消耗”技術(shù)方案，通過(guò)質(zhì)譜儀閉環(huán)循環(huán)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氦氣100%回收利用，單臺(tái)設(shè)備年節(jié)省成本超500萬(wàn)元。
技術(shù)突破：從“消耗品”到“循環(huán)體”
傳統(tǒng)氦檢漏設(shè)備需持續(xù)充入高純氦氣作為示蹤氣體，單次檢測(cè)耗氦量達(dá)50-200升。而新研發(fā)的“磁懸浮分子泵+低溫吸附”復(fù)合回收系統(tǒng)，可將泄漏氦氣實(shí)時(shí)捕獲、提純并重新注入檢測(cè)腔體，經(jīng)第三方認(rèn)證，在28nm以下晶圓廠產(chǎn)線實(shí)測(cè)中，氦氣循環(huán)利用率達(dá)99.97%，檢測(cè)精度保持0.1ppm級(jí)。
市場(chǎng)反響：訂單量環(huán)比激增200%
某國(guó)產(chǎn)設(shè)備商透露，其“零氦消耗”系列機(jī)型發(fā)布兩周內(nèi)已獲長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯紹興等企業(yè)訂單超30臺(tái)，占本月總訂單量的65%。對(duì)比傳統(tǒng)設(shè)備，新技術(shù)雖使單機(jī)成本上升15%，但兩年內(nèi)可通過(guò)氦氣節(jié)省收回投資，客戶采購(gòu)意愿強(qiáng)烈。
行業(yè)影響：倒逼全球技術(shù)路線重構(gòu)
國(guó)際氦氣巨頭林德集團(tuán)隨即宣布，將聯(lián)合設(shè)備商開發(fā)“氦氣租賃+智能回收”服務(wù)模式，試圖維持市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)。而國(guó)內(nèi)政策層面，工信部《關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)氦氣保障行動(dòng)方案》明確提出，2025年前實(shí)現(xiàn)氦檢漏設(shè)備氦氣消耗強(qiáng)度下降80%，新技術(shù)推廣或加速這一目標(biāo)達(dá)成。業(yè)內(nèi)專家指出，隨著3D NAND閃存、碳化硅功率器件等高精度制造需求增長(zhǎng)，氦檢漏設(shè)備正從“功能機(jī)”向“資源管理平臺(tái)”進(jìn)化，氦氣循環(huán)技術(shù)將成為下一代設(shè)備的核心競(jìng)爭(zhēng)點(diǎn)。
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